等离子增强化学气相沉积系统（PECVD）

仪器分类：CVD设备

所属单位：校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

放置房间号：洁净室Room1

规格型号：SI 500D

仪器生产商：SENTECH

购置日期：2016-12-22

使用模式：项目委托,按时预约

仪器状态：

仪器生产商:SENTECH

资产编号:1612960G

资产负责人:----

购置日期:2016-12-22

仪器价格:0.00 万元

仪器产地:德国

仪器供应商:----

购买经办人:----

主要配件:----

主要参数:----

仪器介绍:

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主要仪器管理员: 吕文龙(电话:13959223602)

仪器管理员: 朋德运维(电话:13812344321)

仪器管理员: 蒋书森(电话:13859985697)

仪器管理员: 张春权(电话:18959282629)

工作时间:08:30-11:30;14:30-17:30

最小可预约时间段:0.5 小时

最大可预约时间段:12 小时

日历最小单位:0.5 小时

最近提前预约时间: 未授权用户: 15小时；普通资格用户: 12小时；资深资格用户: 12小时

最远提前预约时间: 未授权: 240 小时 0 点；普通: 240 小时 0 点；资深: 240 小时 0 点

预约保护时间:30 分钟

失约保护时间:0 分钟

断电延时时间:2 秒

最短重上电时间:2 秒

使用超时提醒:120 秒

最大有效预约次数:5 次/天

无代价撤销预约时间:1440 分钟

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