等离子增强原子层沉积系统（ALD）

仪器生产商:BENEQ

资产编号:1608204G

资产负责人:----

购置日期:2016-11-01

仪器价格:0.00 万元

仪器产地:芬兰

仪器供应商:----

购买经办人:----

主要配件:----

主要参数:生长厚度为0.1纳米至50纳米的薄膜

仪器介绍:

生产厂家：芬兰Beneq

型号：TFS 200

生长模式：热法、等离子法

样品尺寸：8英寸及以下

前驱体类型：三甲基铝四氯化钛四（二甲乙胺基）铪

生长膜种类：氧化铝、氮化铝、氧化钛、氮化钛、氧化铪

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主要仪器管理员: 蒋书森(电话:13859985697)

仪器管理员: 朋德运维(电话:13812344321)

工作时间:09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段:1 小时

最大可预约时间段:12 小时

日历最小单位:0.5 小时

最近提前预约时间: 未授权用户: 0.1小时；普通资格用户: 0.1小时；资深资格用户: 0.1小时

最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点

预约保护时间:60 分钟

失约保护时间:60 分钟

断电延时时间:1 秒

最短重上电时间:1 秒

使用超时提醒:120 秒

最大有效预约次数:5 次/天

无代价撤销预约时间:1440 分钟

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