高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统

仪器生产商:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

资产编号:----

资产负责人:陈滢

购置日期:2025-04-09

仪器价格:39.85 万元

仪器产地:中国

仪器供应商:沈阳科仪

购买经办人:----

主要配件:定制真空腔、分子泵、机械泵、操作系统

主要参数:沉积室极限真空≤10-5Pa；系统停泵关机12小时后真空度≤10Pa；真空腔大气状态抽气20分钟可达10-4Pa;

仪器介绍:

脉冲激光溅射沉积是一种新型高精密制膜技术，能生长出其他制膜设备和方法难以制备的高熔点、多元素和复杂层状结构的薄膜、异质结和超晶格材料，是探索开发新材料新器件和进行其相关基础研究的一个平台。该技术广泛应用于生长半导体超晶格材料，制备含有复杂氧化物结构薄膜、光学晶体、铁电体、铁磁体、超导体及有机化合物等。

自带靶材

提前联系

主要仪器管理员: 陈滢(电话:18310533533)

按时计费：

计费名称：镀膜(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段	类型	价格	计费方式
全天	开机固定费	0.00 元	单次收取
00:00--24:00	开机费	80.00 元	使用时长(小时)
	机时补贴费	50.00 元	使用时长(小时)
	材料费	320.00 元	使用时长(小时)

工作时间:09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段:0.5 小时

最大可预约时间段:168 小时

日历最小单位:0.5 小时

最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 24小时

最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点

预约保护时间:15 分钟

失约保护时间:15 分钟

断电延时时间:30 秒

最短重上电时间:5 秒

使用超时提醒:120 秒

最大有效预约次数:5 次/天

无代价撤销预约时间:1440 分钟

用户资格	工作时间	非工作时间
未授权资格	需审核	需审核
普通资格	免审核	需审核
资深资格	免审核	免审核

序号	标题	文件数量	添加时间	操作

序号	标题	添加时间	操作

待审核
预约有效
预约完成
预约失约
预约被占用

高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统

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