磁控溅射镀膜机（二靶，4英寸）国产

仪器生产商:成都真空机械厂

资产编号:20032648

资产负责人:张春权

购置日期:2003-07-01

仪器价格:30.05 万元

仪器产地:四川成都

仪器供应商:----

购买经办人:张春权

主要配件:----

主要参数:1.两个直径为100mm的磁控靶 2.一套直流靶电源，功率为1KW。一套13.56MHZ的射频电源，功率为1KW 3.工件转盘转速0-20转/分可调

仪器介绍:

1．适用于溅射金属材料，如钛、铝、铜、金等金属材料。

2．适合4英寸及以下各种规格基片

一次实验需要预约3小时，

“预约标题”一栏请输入 预约人姓名

主要仪器管理员: 张春权(电话:18959282629)

仪器管理员: 朋德运维(电话:13812344321)

仪器管理员: 汪耀培(电话:18965107385)

工作时间:08:30-11:30;14:30-17:30

最小可预约时间段:3 小时

最大可预约时间段:168 小时

日历最小单位:0.5 小时

最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 24小时

最远提前预约时间: 未授权: 108 小时 0 点；普通: 108 小时 0 点；资深: 108 小时 0 点

预约保护时间:45 分钟

失约保护时间:0 分钟

断电延时时间:1 秒

最短重上电时间:1 秒

使用超时提醒:120 秒

最大有效预约次数:5 次/天

无代价撤销预约时间:1440 分钟

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