磁控溅射镀膜系统（三靶，8英寸）国产

仪器生产商:北京创世威纳科技有限公司

资产编号:S2113413

资产负责人:张春权

购置日期:2020-10-14

仪器价格:38.00 万元

仪器产地:北京

仪器供应商:----

购买经办人:张春权

主要配件:----

主要参数:1.最大样品数量：Φ8英寸（Φ200mm）样品1片 2.溅射不均匀性：≤±5％（Φ8英寸范围内） 3.工艺气体：Ar、O2、N2 4.电源功率直流1000W 1套偏压电源-300V 1套 5.溅射控制方式：时间控制方式制方式 6.基于PLC及工控机的全自动、半自动控制方式。

仪器介绍:

1.溅射材料：金属Ti,AL,Ag,Cu,Au,Ni等

2.可制备最大达Φ8英寸大样品镀膜。

3.样品下置，自上而下溅射

一次实验需要预约1个小时，

“预约标题”一栏请输入 预约人姓名

主要仪器管理员: 张春权(电话:18959282629)

仪器管理员: 朋德运维(电话:13812344321)

仪器管理员: 张玉龙(电话:18959242068)

仪器管理员: 陈彬彬(电话:13400604610)

仪器管理员: 汪耀培(电话:18965107385)

工作时间:09:00-11:00;15:00-17:00

最小可预约时间段:1 小时

最大可预约时间段:168 小时

日历最小单位:1 小时

最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 24小时

最远提前预约时间: 未授权: 120 小时 0 点；普通: 120 小时 0 点；资深: 120 小时 0 点

预约保护时间:60 分钟

失约保护时间:0 分钟

断电延时时间:1 秒

最短重上电时间:1 秒

使用超时提醒:120 秒

最大有效预约次数:24 次/天

无代价撤销预约时间:1440 分钟

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