磁控溅射镀膜系统（三靶，8英寸）国产

  • 仪器分类：镀膜设备
  • 所属单位：校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 放置房间号：洁净室Room4
  • 规格型号：DISC-SP-3200
  • 仪器生产商：北京创世威纳科技有限公司
  • 购置日期：2020-10-14
  • 使用模式：项目委托,按时预约
  • 仪器状态：
仪器生产商:北京创世威纳科技有限公司
资产编号:S2113413
资产负责人:张春权
购置日期:2020-10-14
仪器价格:38.00 万元
仪器产地:北京
仪器供应商:----
购买经办人:张春权
主要配件:----
主要参数:1.最大样品数量：Φ8英寸（Φ200mm）样品1片 2.溅射不均匀性：≤±5％（Φ8英寸范围内） 3.工艺气体：Ar、O2、N2 4.电源功率 直流1000W 1套 偏压电源-300V 1套 5.溅射控制方式：时间控制方式制方式 6.基于PLC及工控机的全自动、半自动控制方式。
仪器介绍:

1.溅射材料：金属Ti,AL,Ag,Cu,Au,Ni等

2.可制备最大达Φ8英寸大样品镀膜。

3.样品下置，自上而下溅射



        一次实验需要预约1个小时，

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主要仪器管理员: 张春权(电话:18959282629)
仪器管理员: 朋德运维(电话:13812344321)
仪器管理员: 张玉龙(电话:18959242068)
仪器管理员: 陈彬彬(电话:13400604610)
仪器管理员: 朋德测试用户(电话:15900001111)
仪器管理员: 汪耀培(电话:18965107385)

按时计费：

   计费名称：委托操作(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段 类型 价格 计费方式
全天 开机固定费 0.00 元 单次收取
00:00--24:00 开机费 35.00 元 使用时长(小时)
机时补贴费 45.00 元 使用时长(小时)
材料费 70.00 元 使用时长(小时)
   计费名称：独立操作（法定节假日及寒暑假）(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段 类型 价格 计费方式
全天 开机固定费 70.00 元 单次收取
00:00--24:00 开机费 56.00 元 使用时长(小时)
机时补贴费 28.00 元 使用时长(小时)
材料费 196.00 元 使用时长(小时)
   计费名称：委托操作或设备培训(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段 类型 价格 计费方式
全天 开机固定费 130.00 元 单次收取
00:00--24:00 开机费 104.00 元 使用时长(小时)
机时补贴费 52.00 元 使用时长(小时)
材料费 364.00 元 使用时长(小时)
   计费名称：独立操作(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段 类型 价格 计费方式
全天 开机固定费 100.00 元 单次收取
00:00--24:00 开机费 80.00 元 使用时长(小时)
机时补贴费 40.00 元 使用时长(小时)
材料费 280.00 元 使用时长(小时)
   计费名称：独立操作2023(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段 类型 价格 计费方式
全天 开机固定费 100.00 元 单次收取
00:00--24:00 开机费 80.00 元 使用时长(小时)
机时补贴费 40.00 元 使用时长(小时)
材料费 330.00 元 使用时长(小时)
   计费名称：独立操作2023（法定节假日及寒暑假）(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段 类型 价格 计费方式
全天 开机固定费 70.00 元 单次收取
00:00--24:00 开机费 56.00 元 使用时长(小时)
机时补贴费 28.00 元 使用时长(小时)
材料费 231.00 元 使用时长(小时)
   计费名称：委托操作或设备培训2023(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段 类型 价格 计费方式
全天 开机固定费 130.00 元 单次收取
00:00--24:00 开机费 104.00 元 使用时长(小时)
机时补贴费 52.00 元 使用时长(小时)
材料费 429.00 元 使用时长(小时)

委托计费：

   计费名称：委托操作(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段 类型 价格 计费方式
全天 开机固定费 0.00 元 单次收取
00:00--24:00 开机费 35.00 元 使用时长(小时)
机时补贴费 45.00 元 使用时长(小时)
材料费 70.00 元 使用时长(小时)
   计费名称：委托操作或设备培训(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段 类型 价格 计费方式
全天 开机固定费 130.00 元 单次收取
00:00--24:00 开机费 104.00 元 使用时长(小时)
机时补贴费 52.00 元 使用时长(小时)
材料费 364.00 元 使用时长(小时)
   计费名称：委托操作或设备培训(版本 2) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段 类型 价格 计费方式
全天 开机固定费 130.00 元 单次收取
00:00--24:00 开机费 104.00 元 使用时长(小时)
机时补贴费 52.00 元 使用时长(小时)
材料费 429.00 元 使用时长(小时)
工作时间:09:00-11:00;15:00-17:00
最小可预约时间段:1 小时
最大可预约时间段:168 小时
日历最小单位:1 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 12小时； 普通资格用户: 12小时； 资深资格用户: 12小时
最远提前预约时间: 未授权: 144 小时 0 点； 普通: 144 小时 0 点； 资深: 144 小时 0 点
预约保护时间:60 分钟
失约保护时间:0 分钟
断电延时时间:1 秒
最短重上电时间:1 秒
使用超时提醒:120 秒
最大有效预约次数:24 次/天
无代价撤销预约时间:1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
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普通资格 需审核 禁止预约
资深资格 禁止预约 需审核
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