磁控溅射镀膜系统(三靶,6英寸)进口

  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 放置房间号:洁净室Room4
  • 规格型号:EXPLORER-14
  • 仪器生产商:Denton
  • 购置日期:2016-11-09
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 仪器状态:
仪器生产商:Denton
资产编号:1608578G 
资产负责人:张春权
购置日期:2016-11-09
仪器价格:160.76 万元
仪器产地:美国
仪器供应商:----
购买经办人:张春权
主要配件:----
主要参数:1. 3支Ф3英寸磁控溅射靶 2.样品尺寸:≤6英寸
仪器介绍:

1.适用于溅射金属材料,如钛、镍、银、铬、铝、铜、金等金属材料。

2.适合6英寸及以下各种规格基片



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主要仪器管理员: 张春权(电话:18959282629)
仪器管理员: 朋德运维(电话:13812344321)
仪器管理员: 张玉龙(电话:18959242068)
仪器管理员: 谷丹丹(电话:13606901179)
仪器管理员: 陈彬彬(电话:13400604610)
仪器管理员: 汪耀培(电话:18965107385)
工作时间:09:00-11:00;15:00-17:00
最小可预约时间段:1 小时
最大可预约时间段:168 小时
日历最小单位:1 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 未授权: 96 小时 0 点; 普通: 96 小时 0 点; 资深: 96 小时 0 点
预约保护时间:60 分钟
失约保护时间:0 分钟
断电延时时间:1 秒
最短重上电时间:1 秒
使用超时提醒:120 秒
最大有效预约次数:24 次/天
无代价撤销预约时间:1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
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普通资格 需审核 禁止预约
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