深硅刻蚀系统

仪器生产商:阿尔卡特

资产编号:20060478

资产负责人:----

购置日期:2006-01-01

仪器价格:4501054.33 万元

仪器产地:法国

仪器供应商:----

购买经办人:----

主要配件:设备性能：适用于4英寸硅片刻蚀；使用气体有：SF6 ，C4F8 ，O2。同时兼有Bosch（常温）工艺和Cryo（冷冻）工艺。

主要参数:2.5µm线宽沟道刻蚀二氧化硅掩膜厚度1.5µm 被刻蚀暴露面积20% 刻蚀深度50µm 刻蚀速率>2µm/min 对二氧化硅的选择比>100:1 侧壁角度90°±1° 侧壁不平整度<300nm 掩膜层下的侧向腐蚀<300nm 圆片内的刻蚀不均匀性<±5% 圆片与圆片间的刻蚀不均匀性<±5%

仪器介绍:

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主要仪器管理员: 张玉龙(电话:18959242068)

仪器管理员: 朋德运维(电话:13812344321)

工作时间:09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段:0.5 小时

最大可预约时间段:168 小时

日历最小单位:0.5 小时

最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 24小时

最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点

预约保护时间:15 分钟

失约保护时间:15 分钟

断电延时时间:30 秒

最短重上电时间:5 秒

使用超时提醒:120 秒

最大有效预约次数:5 次/天

无代价撤销预约时间:1440 分钟

用户资格	工作时间	非工作时间
未授权资格	需审核	需审核
普通资格	免审核	需审核
资深资格	免审核	免审核

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