ICP-RIE等离子刻蚀机

仪器生产商:SENTECH

资产编号:1612961G

资产负责人:张春权

购置日期:2016-12-22

仪器价格:0.00 万元

仪器产地:德国

仪器供应商:----

购买经办人:张春权

主要配件:----

主要参数:1. 本底真空：< 1 x 10-6 mbar (7.6 x 10-4 mTorr) 2. 7路气体：六氟化硫、三氟甲烷、四氟化碳、氩气、氧气、氮气（吹扫用）、氦气（背冷却用） 3. 样品通过预真空室装载，碎片需使用载片器（托盘）。取-放系统保证了衬底操作的洁净与安全。预真空室有可编程的吹扫循环工艺、确保操作者安全和腔室洁净。 4. 一个射频发生器（13.56 MHz, 600 W）用于下电极偏置，另一个用于驱动ICP源（13.56 MHz, 1200 W） 5. 样品尺寸：≤8英寸

仪器介绍:

感应耦合等离子刻蚀机SI 500可广泛应用于从普通反应离子刻蚀RIE到高密度等离子ICP刻蚀工艺，特别适合于刻蚀氧化硅、氮化硅、硅等。SI 500的硬件、软件满足了最前沿的研发需要，同时也满足生产线的高稳定性和可重复性要求。

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主要仪器管理员: 张春权(电话:18959282629)

仪器管理员: 朋德运维(电话:13812344321)

仪器管理员: 吕文龙(电话:13959223602)

仪器管理员: 曾毅波(电话:13600958229)

仪器管理员: 张玉龙(电话:18959242068)

仪器管理员: 谷丹丹(电话:13606901179)

仪器管理员: 陈彬彬(电话:13400604610)

仪器管理员: 汪耀培(电话:18965107385)

工作时间:09:00-11:00;15:00-17:00

最小可预约时间段:0.25 小时

最大可预约时间段:168 小时

日历最小单位:0.5 小时

最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 12小时

最远提前预约时间: 未授权: 96 小时 0 点；普通: 96 小时 0 点；资深: 96 小时 0 点

预约保护时间:60 分钟

失约保护时间:0 分钟

断电延时时间:1 秒

最短重上电时间:1 秒

使用超时提醒:120 秒

最大有效预约次数:24 次/天

无代价撤销预约时间:1440 分钟

用户资格	工作时间	非工作时间
未授权资格	需审核	禁止预约
普通资格	需审核	禁止预约
资深资格	需审核	需审核

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