感应耦合等离子刻蚀机SI 500可广泛应用于从普通反应离子刻蚀RIE到高密度等离子ICP刻蚀工艺，特别适合于刻蚀氧化硅、氮化硅、硅等。SI 500的硬件、软件满足了最前沿的研发需要，同时也满足生产线的高稳定性和可重复性要求。
按时计费：
| 计费名称：独立操作（法定节假日及寒暑假期间）(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 105.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 133.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 28.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 119.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 计费名称：独立操作(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 150.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 190.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 40.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 170.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 计费名称：委托操作或设备培训(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 195.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 247.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 52.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 221.00 元 | 使用时长(小时) | |
委托计费：
| 计费名称：委托操作或设备培训(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 195.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 247.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 52.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 221.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
|---|---|---|
| 未授权资格 | 需审核 | 禁止预约 |
| 普通资格 | 需审核 | 禁止预约 |
| 资深资格 | 需审核 | 需审核 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 | 操作 |
|---|
待审核
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