高低温真空探针台

  • 仪器分类：测试设备
  • 所属单位：校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 放置房间号：洁净室Room6
  • 规格型号：SCG
  • 仪器生产商：香港 SEMI SHARE 
  • 购置日期：2017-06-02
  • 使用模式：项目委托,按时预约
  • 仪器状态： （张玉龙）
仪器生产商:香港 SEMI SHARE 
资产编号:1705120G 
资产负责人:----
购置日期:2017-06-02
仪器价格:60.60 万元
仪器产地:暂无
仪器供应商:香港 SEMI SHARE 
购买经办人:----
主要配件:无
主要参数:直径为 8 英寸的真空腔体，带 4 英寸高红外透射率观察窗； 直径为 6 英寸的防辐射屏腔体，带 4 英寸低红外光，高可见光透射防辐射窗和屏蔽帘； 直径为 4 英寸的样品台,平整度 5 微米； 六个探针臂接口，可以安装六个探针臂； 一个 KF40 真空抽气口，一个快速破真空进气口； 同轴制冷剂出入，能够提高使用冷剂效率（可采用液氮或者液氦）； 一个 16pin 电信接口法兰，一个电信备用接口法兰； 制冷剂回流冷却辐射屏回路； KF 法兰接口，系统极限真空优于 1.2E-5 Pa； 漏率优于：1.3 E-10Pa.M3/s； 冷剂消耗：<1.0 l/h 液氦, 0.1 l/h 液氮； 常温降温至 4.5K 的时间优于：30mins； 温度稳定性优于：+/- 50 mK； 探针漂移量：< +/- 60 nm in 30 mins。
仪器介绍:

能够实现样品在低温真空环境的测试，实现样品在小于1E-3 Pa 真空度，4.2K 到 480K 任意温度点的精确电学测量。防辐射屏设计，样品温度均匀性好 支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，探针微调移动，满足器件的高频特性测试需求。


主要仪器管理员: 曾毅波(电话:13600958229)
仪器管理员: 朋德运维(电话:13812344321)
仪器管理员: 张玉龙(电话:18959242068)
仪器管理员: 谷丹丹(电话:13606901179)
工作时间:00:00-23:59;
最小可预约时间段:0.5 小时
最大可预约时间段:24 小时
日历最小单位:0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时
最远提前预约时间: 未授权: 168 小时 0 点； 普通: 168 小时 0 点； 资深: 168 小时 0 点
预约保护时间:15 分钟
失约保护时间:15 分钟
断电延时时间:1 秒
最短重上电时间:5 秒
使用超时提醒:5 秒
最大有效预约次数:5 次/天
无代价撤销预约时间:1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格 需审核 需审核
普通资格 免审核 需审核
资深资格 免审核 免审核
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