电子束镀膜机

仪器生产商:泰科诺科技有限公司

资产编号:1907739G

资产负责人:张春权

购置日期:2019-03-31

仪器价格:32.50 万元

仪器产地:北京

仪器供应商:----

购买经办人:张春权

主要配件:----

主要参数:样品尺寸：8英寸及以下不规则功率：8KVA； 6 穴坩埚；蒸发源与基片距离≥400mm 2 组金属蒸发源；1 台 3Kw 蒸发电源供 2 组蒸发源切换使用旋转速度：0～40 转/分钟

仪器介绍:

TEMD500 电子束多功能蒸发镀膜机系统具有真空度高、抽速快、基片装卸方便的特点。配备 1 套 E 型电子束蒸发源和 2 组电阻蒸发源、可选配在线膜厚检测系统，具有成膜均匀、放气量小和温度均匀的优点。除了常规低熔点金属的蒸镀以外，TEMD500 还可以蒸镀金属材料，如 Cu、Al、Au、Ag、Ti、Pt 等可应用于制备导电薄膜等。

一次实验需要预约2.5个小时

主要仪器管理员: 张春权(电话:18959282629)

仪器管理员: 朋德运维(电话:13812344321)

仪器管理员: 陈彬彬(电话:13400604610)

仪器管理员: 汪耀培(电话:18965107385)

工作时间:08:30-11:00;14:30-17:00

最小可预约时间段:0.5 小时

最大可预约时间段:168 小时

日历最小单位:0.5 小时

最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 12小时

最远提前预约时间: 未授权: 120 小时 0 点；普通: 120 小时 0 点；资深: 120 小时 0 点

预约保护时间:60 分钟

失约保护时间:0 分钟

断电延时时间:4 秒

最短重上电时间:5 秒

使用超时提醒:120 秒

最大有效预约次数:24 次/天

无代价撤销预约时间:1440 分钟

用户资格	工作时间	非工作时间
未授权资格	需审核	禁止预约
普通资格	需审核	禁止预约
资深资格	禁止预约	需审核

序号	标题	文件数量	添加时间	操作

序号	标题	添加时间	操作

待审核
预约有效
预约完成
预约失约
预约被占用

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