自动减薄抛光机

仪器生产商:SUPER LOGIC LIMITED

资产编号:S2011857

资产负责人:----

购置日期:2020-06-01

仪器价格:89.34 万元

仪器产地:英国

仪器供应商:----

购买经办人:----

主要配件:----

主要参数:样品加工的常规尺寸为Ф100mm及以下，厚度为0.1~1.5mm；厚度在线监测，测试精度优于2μm；适用的加工工艺具有较高的可操作性和经济性；工艺指标： 1.1 研磨后：Ф50mm晶片的总厚度偏差（TTV）在±1um以内； Ф75mm晶片的总厚度偏差（TTV）在±2um以内； Ф100mm晶片的总厚度偏差（TTV）在±3um以内； 1.2 化学机械抛光后：Ф50mm晶片的总厚度偏差（TTV）在±1um以内； Ф75mm晶片的总厚度偏差（TTV）在±2um以内； Ф100mm晶片的总厚度偏差（TTV）在±3um以内； 1.3 化学机械抛光后：Ф50mm晶片的表面粗糙度 Si Ra≤5nm。

仪器介绍:

设备是在翔安校区新工科大楼！

只用于四寸硅片，不用于其他材料

联系何老师预约 18359269411

设备在翔安校区新工科大楼507-510

联系何老师预约 18359269411

主要仪器管理员: 何功汉(电话:18359269411)

工作时间:09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段:0.5 小时

最大可预约时间段:168 小时

日历最小单位:0.5 小时

最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 24小时

最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点

最大有效预约次数:5 次/天

无代价撤销预约时间:1440 分钟

用户资格	工作时间	非工作时间
未授权资格	需审核	需审核
普通资格	免审核	需审核
资深资格	免审核	免审核

序号	标题	文件数量	添加时间	操作

序号	标题	添加时间	操作

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