微控扩散炉

仪器生产商:北京七星华创电子股份有限公司

资产编号:20026282

资产负责人:陈彬彬

购置日期:2002-12-01

仪器价格:94.39 万元

仪器产地:北京

仪器供应商:----

购买经办人:陈彬彬

主要配件:----

主要参数:1.工作温度范围： 400～1150℃ 2.恒温区长度及精度：工作温度： 400℃～ 1150℃ 940mm/±0.5℃ 工作温度：低于400℃或高于1150℃ 940mm/±1℃ 3.单点温度稳定性：工作温度：400℃～ 1150℃ ±0.5℃/24h 工作温度：低于400℃或高于1150℃ ±1℃/24h 4.升温时间：（从室温升至1150℃） ≤60min 5.温度斜变能力：最大可控升温速度（400℃～ 1150℃） 15℃/min 最大降温速度（1150℃～ 800℃） 5℃/min 6.最大升温功率： 24KVA×4=96KVA 7.保温功率：（1150℃） 9KVA/每管

仪器介绍:

本设备供4"硅片氧化、扩散、合金退火等工艺使用

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主要仪器管理员: 陈彬彬(电话:13400604610)

仪器管理员: 朋德运维(电话:13812344321)

工作时间:08:00-24:00

最小可预约时间段:2 小时

最大可预约时间段:168 小时

日历最小单位:2 小时

最近提前预约时间: 未授权用户: 6小时；普通资格用户: 6小时；资深资格用户: 6小时

最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点

预约保护时间:60 分钟

失约保护时间:0 分钟

断电延时时间:30 秒

最短重上电时间:5 秒

使用超时提醒:120 秒

最大有效预约次数:8 次/天

无代价撤销预约时间:1440 分钟

用户资格	工作时间	非工作时间
未授权资格	需审核	需审核
普通资格	免审核	需审核
资深资格	免审核	免审核

序号	标题	文件数量	添加时间	操作

序号	标题	添加时间	操作

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