洁净室——光刻间日常行为规范

本规章作为《洁净室使用日常行为规范总则》之附属条例。为保证洁净室光刻间各项工艺顺利开展、确保实验人员人身安全，确保仪器设备平稳安全可靠地运行，保持光刻间洁净度，特制订此规章，要求实验人员严格遵守。

1、除光刻工艺相关工艺员外，其他人员遇工作需要方可进入光刻间，工作完成后马上离开，禁止在光刻间逗留；

2、光刻间内，禁止擦拭头、脸等部位，时刻保持防尘帽把头发全部遮住；不要把外套暴露在洁净服外；

3、禁止在光刻间内更换口罩、手套；如有特殊需要，脱下手套后应减少在光刻间停留时间，并且尽快戴上新手套；

4、严禁将任何毛巾拿入光刻间，隔热、擦拭等需使用洁净布；

5、从冰箱中将胶取出或者将胶放置于冰箱内时，动作快而不乱；严禁在通风橱外开启胶瓶；涂胶后没有烘烤的样片禁止放在通风橱外；

6、若滴瓶里的胶过期或不用需倒掉的，要用洁净室专用的袋子把胶倒在里头放在通风橱里，离开时带走；

7、涂胶严格按操作要求，若胶滴落在通风橱内需及时使用酒精棉花擦拭干净；涂胶后若吸盘被胶沾污应及时清洗；

8、要在通风橱里按需倒入适量显影液，严禁浪费；要在专用的通风橱里显影；显影结束后普通显影液（特殊显影液要回收）倒入水槽，并清洗盛装显影器皿，倒扣在台面上；

9、涂胶后、显影后应立即更换一次性手套，严禁用未更换的一次性手套操作其他设备；若使用非一次性丁晴手套或橡胶手套，请在丁晴手套或橡胶手套外加带一次性手套，并且及时更换；

10、请根据样片大小选择适当的片托，小样片涂胶后务必用丙酮清洗片托及通道；

11、光刻间桌面如产生物质颗粒需马上用清洁的湿润洁净布擦拭，每日工作完毕后需用清洁的湿润洁净布擦拭；

12、烘箱、热板的温度不可随便调节除非特殊情况并在用完后恢复原来的温度；

13、最后离开光刻间的人员务必确认烘箱、热板、水、气体、显微镜处于关闭状态，方可离开。

本规章解释权限归研究院.。