2020-04-30 17:13
电镜室包含设备：
蔡司Supra55扫描电子显微镜（SEM）、岛津XRD-7000X射线衍射仪（XRD）。
使用对象：
在萨本栋微纳米研究院的“微电子/石墨烯加工测试平台预约系统”（http://121.192.177.166/）上注册有账户的全校教师，以及提交了“课题组信息汇总表”的全校学生。
开放方式：
Ø SEM：在“厦大生物医学仪器共享平台”（http://lifefacility.xmu.edu.cn/）上，使用校内一卡通用户登录。实验室管理人员郑老师审核通过后，即可在仪器中进行SEM的预约。
l 样品必须完全烘干，不含水分；不导电样品需要进行喷金操作；
l 含磁性样品不能观测，纳米级粉末样品（＜100nm）不能直接观测，须分散在硅片上；
l 委托操作预约时间：工作日8:30-11:30&14:30-17:30（如临时有变动会在翔安semQQ群中通知）；委托操作期间会进行操作培训，一般培训次数为2-3次，未完成培训的同学不能独立操作；
l 严格执行一人一卡制，请勿将卡借予未通过培训的同学；
l 请严格按照预约时间进行观测，需喷金或制样时间较长的同学可提前来制样；
l EBL预约请备注：衬底材料，光刻胶种类、厚度，图形尺寸。
Ø XRD：如第一次使用微纳院翔安校区XRD设备，请在工作日（工作时间：8:30-11:30&14:30-17:30）联系工程师，进行实验。目前XRD使用人数较少，不在网站进行设备预约，如有需要使用XRD设备可直接在【微纳院翔安XRD】QQ群内说明使用时间。如后期使用人次增多会进行调整。
开放时间：
电镜室正常开放时间为：工作日8:30-17:30。操作熟练者可以在非正常开放时间预约实验。
实验流程：
1、预约使用电镜的师生刷卡进入电镜室，填写《设备使用及维护登记表》中的“开始时间”及课题组等信息；
2、样品如需喷金，按照《Sputtering Coating喷金操作》进行操作；
3、严格按照《SEM操作基本规程》进行操作，未经培训，未经管理人员同意，不得擅自上机操作；
4、测试结束后，回收或清除个人样品，恢复桌面整洁，将电镜室样品台、样品镊、导电胶等放回原处。填写完成《设备使用及维护登记表》中的“结束时间”及各项参数。不登记者，如发生实验用品丢失或被破坏，后果自负。实验室管理人员将每天检查登记情况以及相关卫生工作；
5、测试结束后，需及时拷贝数据。数据拷贝必须使用光盘或SEM专用U盘，不得在实验电脑上插入个人U盘及移动硬盘等。
设备安全管理：
Ø SEM
1、电镜由专人负责管理及使用，其他人未经培训，未经管理人员同意，不得擅自上机操作；
2、电镜使用实行预约制度。预约使用电镜的师生需刷卡进出实验室，及时填写使用记录及维护记录（引出电压，引出电流，灯丝电流），详细记载使用及维护情况。违反以上规定者，累计3次，罚停整个课题组一个月；
3、预约使用当天请准时到场，按安排时间进行实验，不得随意延长用机时间和临时增加样品；如需变更排定时间，须提前24h在系统上调整预约时间。违反以上规定者，累计3次，罚停整个课题组一个月；
4、使用电镜不得隐瞒样品属性，不得私自转借安排时段给他人测试，如需调整必须通知电镜管理人员。违反以上规定者，罚停整个课题组一个月；
5、操作样品室、样品台等精密结构过程中必须戴实验手套。违反以上规定者，累计3次，罚停整个课题组一个月；
6、测试样品必须经过充分干燥；粉、粒状样品需使用牢固的样品粘附方法，在放入SEM前需吹去松散的粉末；
7、不接受低熔点或易分解的样品；谢绝液态、磁性、毒性、腐蚀性、放射性样品；
8、除管理员允许，加速电压禁止超过20kV，亮度禁止超过51%；
9、若设备在运行中出现故障，操作人员应立即停止使用，在记录本上写明情况，并报告管理人员；
10、禁止在主控计算机上安装其它软件，实验结果和数据必须使用SEM专用U盘或光盘拷贝，禁止使用移动硬盘、U盘等拷贝数据。操作完毕需及时拷贝数据，数据在主控计算机上最多保存一星期，本实验室不负责数据丢失事故；
11、设备使用完毕后应将桌面恢复整洁，清理实验过程中产生的垃圾，如果用到实验室的样品镊、导电胶等需将其放回原处；
12、严格执行设备的操作规程，因隐瞒样品属性导致设备污染、损坏而引起的经济损失，因使用不当导致制样设备、样品杆或其他附件损坏，由相关课题组负责赔偿。
Ø XRD
1、X射线对健康有损害，操作时须严格按照规范进行操作；
2、谢绝液态、磁性、毒性、腐蚀性、放射性样品；
3、正确放置样品，测试期间须保证舱门密闭；
4、禁止在主控计算机上安装其它软件，数据拷取须使用XRD专用U盘或光盘，不得在实验电脑上插入个人U盘及移动硬盘等；
5、设备使用完毕后应将桌面恢复整洁，清理实验过程中产生的垃圾，回收或清除个人样品，整理桌面，制样片、药匙等物品归位；
6、实验结束须填写设备使用登记本；
7、X射线停止（X-ray橙灯灭）后20分钟，关闭XRD设备总电源，关闭冷却循环水电源（T≤22℃）。
8、严格执行设备的操作规程，因隐瞒样品属性导致设备污染、损坏而引起的经济损失，因使用不当导致制样片或其他附件损坏，由相关课题组负责赔偿。