等离子增强原子层沉积系统（ALD）

等离子增强原子层沉积系统（ALD）

  • 仪器分类 CVD设备
  • 仪器状态
  • 所属单位 校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 仪器生产商 BENEQ
  • 购置日期 2016-11-01
  • 使用模式 按时预约
  • 规格型号 TFS-200-PEALD 
  • 放置房间号 洁净室Room1

使用指南

  • 暂无数据

FAQ

  • 暂无数据

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