生产厂家：芬兰Beneq

 型号：TFS 200

 生长模式：热法、等离子法

 样品尺寸：8英寸及以下

 前驱体类型：三甲基铝 四氯化钛 四（二甲乙胺基）铪

 生长膜种类：氧化铝、氮化铝、氧化钛、氮化钛、氧化铪