基本信息

  • 生产厂商 成都真空机械厂 
  • 资产编号 20032648 
  • 资产负责人 张春权
  • 购置日期2003-07-01
  • 仪器价格30.05 万元
  • 仪器产地四川成都
  • 仪器供应商
  • 购买经办人张春权
  • 主要配件
  • 主要参数1.两个直径为100mm的磁控靶 2.一套直流靶电源，功率为1KW。一套13.56MHZ的射频电源，功率为1KW 3.工件转盘转速0-20转/分可调

仪器介绍

1．适用于溅射金属材料，如钛、铝、铜、金等金属材料。

2．适合4英寸及以下各种规格基片