基本信息

  • 生产厂商 北京创世威纳科技有限公司
  • 资产编号 S2113413
  • 资产负责人 张春权
  • 购置日期2020-10-14
  • 仪器价格38.00 万元
  • 仪器产地北京
  • 仪器供应商
  • 购买经办人张春权
  • 主要配件
  • 主要参数1.最大样品数量：Φ8英寸（Φ200mm）样品1片 2.溅射不均匀性：≤±5％（Φ8英寸范围内） 3.工艺气体：Ar、O2、N2 4.电源功率 直流1000W 1套 偏压电源-300V 1套 5.溅射控制方式：时间控制方式制方式 6.基于PLC及工控机的全自动、半自动控制方式。

仪器介绍

1.溅射材料：金属Ti,AL,Ag,Cu,Au,Ni等

2.可制备最大达Φ8英寸大样品镀膜。

3.样品下置，自上而下溅射