基本信息

  • 生产厂商 蔡司光学仪器公司 
  • 资产编号 1502436G 
  • 资产负责人 郑玲玲
  • 购置日期2015-03-23
  • 仪器价格0.00 万元
  • 仪器产地德国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件 EDS，喷金仪，EBL
  • 主要参数

仪器介绍

1、适用于各种样品的微观形貌观察和分析，结合EDS能谱仪可进行样品微区成分定性和定量以及元素分布分析；

2、结合Raith EBL系统，可进行电子束曝光工艺。