TEMD500 电子束多功能蒸发镀膜机系统具有真空度高、抽速快、基片装 卸方便的特点。配备 1 套 E 型电子束蒸发源和 2 组电阻蒸发源、可选配在线膜 厚检测系统，具有成膜均匀、放气量小 和温度均匀的优点。除了常规低熔点金属的蒸镀以外，TEMD500 还可以蒸镀金属材料，如 Cu、Al、Au、Ag、Ti、Pt 等 可应用于制备导电薄膜等。