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微控扩散炉 （陈彬彬）

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:CVD设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:L4513Ⅱ-53/2M
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室Room2

化学气相沉积系统（石墨烯CVD）

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:CVD设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:ET 2000 
  • 放置房间号:本部洁净室Room5

等离子增强化学气相沉积系统（PECVD） （吕文龙）

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:CVD设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SI 500D 
  • 放置房间号:洁净室Room1

等离子增强原子层沉积系统（ALD）

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:CVD设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TFS-200-PEALD 
  • 放置房间号:洁净室Room1

有机清洗台1

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:暂无
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室清洗间

无机清洗台3

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:暂无
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室清洗间

无机清洗台2

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:暂无
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室清洗间

无机清洗台1

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:暂无
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室清洗间

有机清洗台2

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:无
  • 放置房间号:----

有机清洗台3

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:无
  • 放置房间号:----

等离子体去胶机

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Q150 
  • 放置房间号:洁净室Room1

芯片键合机 （谷丹丹）

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:AML-AWB-04 
  • 放置房间号:洁净室Room3

磁控溅射镀膜机（二靶，4英寸）国产

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托
  • 规格型号:JC-500-3/D 
  • 放置房间号:洁净室Room4

磁控溅射镀膜系统（三靶，8英寸）国产

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DISC-SP-3200
  • 放置房间号:洁净室Room4

磁控溅射镀膜系统（三靶，6英寸）进口

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:EXPLORER-14
  • 放置房间号:洁净室Room4