仪器分类
全部 CVD设备 清洗腐蚀设备 光刻&键合设备 镀膜设备 刻蚀设备 磨抛&划片设备 测试设备 其它
所属单位
全部 萨本栋微米纳米科学技术研究院
预约模式
全部 按时预约 项目委托

化学气相沉积系统(石墨烯CVD)

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:CVD设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:ET 2000 
  • 放置房间号:本部洁净室Room5

等离子增强化学气相沉积系统(PECVD)

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  • 仪器分类:CVD设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SI 500D 
  • 放置房间号:洁净室Room1

有机清洗台1

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  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:暂无
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室清洗间

无机清洗台3

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  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:暂无
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室清洗间

无机清洗台2

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  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:暂无
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室清洗间

无机清洗台1

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:暂无
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室清洗间

有机清洗台2

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:
  • 放置房间号:----

有机清洗台3

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:
  • 放置房间号:----

等离子体去胶机

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  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Q150 
  • 放置房间号:洁净室Room1

芯片键合机 (程至印)

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:AML-AWB-04 
  • 放置房间号:洁净室Room3

磁控溅射镀膜机(二靶,4英寸)国产

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  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托
  • 规格型号:JC-500-3/D 
  • 放置房间号:洁净室Room4

磁控溅射镀膜系统(三靶,8英寸)国产

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  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DISC-SP-3200
  • 放置房间号:洁净室Room4

磁控溅射镀膜系统(三靶,6英寸)进口

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:EXPLORER-14
  • 放置房间号:洁净室Room4

电子束镀膜机

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  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TEMD-500
  • 放置房间号:洁净室Room4

磁控溅射镀膜机

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  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:MSP-300CT
  • 放置房间号:----