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校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
- 仪器分类:CVD设备
- 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
- 使用模式:项目委托,按时预约
- 规格型号:ET 2000
- 放置房间号:本部洁净室Room5
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- 仪器分类:CVD设备
- 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
- 使用模式:项目委托,按时预约
- 规格型号:SI 500D
- 放置房间号:洁净室Room1
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- 仪器分类:CVD设备
- 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
- 使用模式:按时预约
- 规格型号:TFS-200-PEALD
- 放置房间号:洁净室Room1