仪器分类
全部 CVD设备 清洗腐蚀设备 光刻&键合设备 镀膜设备 刻蚀设备 磨抛&划片设备 测试设备 其它
所属单位
全部 萨本栋微米纳米科学技术研究院
预约模式
全部 按时预约 项目委托

深硅刻蚀系统

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:刻蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:AMS200 
  • 放置房间号:洁净室Room4

ICP-RIE等离子刻蚀机

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:刻蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:SI 500 
  • 放置房间号:洁净室Room1