仪器分类
全部 CVD设备 清洗腐蚀设备 光刻&键合设备 镀膜设备 刻蚀设备 磨抛&划片设备 测试设备 其它
所属单位
全部 萨本栋微米纳米科学技术研究院
预约模式
全部 按时预约 项目委托

芯片键合机 (谷丹丹)

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:AML-AWB-04 
  • 放置房间号:洁净室Room3

自动取液器(显影液)

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:
  • 放置房间号:光刻间

磁控溅射镀膜机(二靶,4英寸)国产

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托
  • 规格型号:JC-500-3/D 
  • 放置房间号:洁净室Room4

磁控溅射镀膜系统(三靶,8英寸)国产

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DISC-SP-3200
  • 放置房间号:洁净室Room4

磁控溅射镀膜系统(三靶,6英寸)进口

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:EXPLORER-14
  • 放置房间号:洁净室Room4

电子束镀膜机

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:TEMD-500
  • 放置房间号:洁净室Room4

深硅刻蚀系统

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:刻蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:AMS200 
  • 放置房间号:洁净室Room4

ICP-RIE等离子刻蚀机

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:刻蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:SI 500 
  • 放置房间号:洁净室Room1

激光划片机

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:磨抛&划片设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:LCF150QC
  • 放置房间号:洁净室Room5

化学机械抛光机

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:磨抛&划片设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:POLI 400M 
  • 放置房间号:洁净室外面101室

横向减薄机

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:磨抛&划片设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:FD-150
  • 放置房间号:洁净室Room5

自动砂轮划片机

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:磨抛&划片设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:HW1601 
  • 放置房间号:洁净室外面101室

自动减薄抛光机

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:磨抛&划片设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:PM6
  • 放置房间号:翔安校区新工科大楼508

原子力显微镜

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Cypher  S
  • 放置房间号:洁净室Room6

场发射扫描电子显微镜 (张磊_校外)

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:SUPRA55 SAPPHIRE
  • 放置房间号:翔安校区文宣楼C107电镜室