仪器分类
全部 CVD设备 清洗腐蚀设备 光刻&键合设备 镀膜设备 刻蚀设备 磨抛&划片设备 测试设备 其它
所属单位
全部 萨本栋微米纳米科学技术研究院
所属平台
全部 亦玄馆 文宣楼 航空航天大楼 新工科大楼
预约模式
全部 按时预约 项目委托
最新 热门

自动取液器（显影液）

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  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:无
  • 放置房间号:光刻间

磁控溅射镀膜机（二靶，4英寸）国产

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  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托
  • 规格型号:JC-500-3/D 
  • 放置房间号:洁净室Room4

磁控溅射镀膜系统（三靶，8英寸）国产

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  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DISC-SP-3200
  • 放置房间号:洁净室Room4

磁控溅射镀膜系统（三靶，6英寸）进口

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  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:EXPLORER-14
  • 放置房间号:洁净室Room4

电子束镀膜机

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  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TEMD-500
  • 放置房间号:洁净室Room4

ICP-RIE等离子刻蚀机

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  • 仪器分类:刻蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SI 500 
  • 放置房间号:洁净室Room1

自动砂轮划片机

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  • 仪器分类:磨抛&划片设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:HW1601 
  • 放置房间号:洁净室外面101室

半导体参数分析仪

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:4200-sls 
  • 放置房间号:洁净室Room6

导热系数仪

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TH91-13 
  • 放置房间号:洁净室Room6

差示扫描量热仪 （张艳）

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DSC214
  • 放置房间号:洁净室Room6

四探针电阻测试仪

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:D41-11B/ZM
  • 放置房间号:洁净室Room6

探针式轮廓仪（台阶仪）

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DEKTAK-XT
  • 放置房间号:洁净室Room6