仪器分类
全部 CVD设备 清洗腐蚀设备 光刻&键合设备 镀膜设备 刻蚀设备 磨抛&划片设备 测试设备 其它
所属单位
全部 萨本栋微米纳米科学技术研究院
预约模式
全部 按时预约 项目委托

自动取液器(有机2jj)

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:
  • 放置房间号:清洗间

自动取液器(有机1bt)

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:
  • 放置房间号:清洗间

显微共焦拉曼光谱仪

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:lDSPeC ARCTlC 
  • 放置房间号:翔安校区文宣楼C107(电镜室内间)

磁控溅射镀膜系统(三靶,8英寸)国产

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  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DISC-SP-3200
  • 放置房间号:洁净室Room4

自动砂轮划片机

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  • 仪器分类:磨抛&划片设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:HW1601 
  • 放置房间号:洁净室外面101室

光刻机(OAI)

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  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:OAI MODEL 200
  • 放置房间号:洁净室Room3

傅立叶红外光谱仪

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:MICOET iS10 
  • 放置房间号:翔安校区文宣楼C107(电镜室)

等离子体去胶机

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Q150 
  • 放置房间号:洁净室Room1

差示扫描量热仪

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DSC214
  • 放置房间号:洁净室Room6

微控扩散炉 (陈彬彬)

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:CVD设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:L4513Ⅱ-53/2M
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室Room2

半导体参数分析仪

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:4200-sls 
  • 放置房间号:洁净室Room6

磁控溅射镀膜机(二靶,4英寸)国产

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托
  • 规格型号:JC-500-3/D 
  • 放置房间号:洁净室Room4

四探针电阻测试仪

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:D41-11B/ZM
  • 放置房间号:洁净室Room6

有机清洗台1

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  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:暂无
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室清洗间

导热系数仪

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TH91-13 
  • 放置房间号:洁净室Room6