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全部 CVD设备 清洗腐蚀设备 光刻&键合设备 镀膜设备 刻蚀设备 磨抛&划片设备 测试设备 其它
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全部 萨本栋微米纳米科学技术研究院
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最新 热门

场发射扫描电子显微镜

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:SUPRA55 SAPPHIRE
  • 放置房间号:翔安校区文宣楼C107电镜室

磁控溅射镀膜系统（三靶，6英寸）进口

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:EXPLORER-14
  • 放置房间号:洁净室Room4

ICP-RIE等离子刻蚀机

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  • 仪器分类:刻蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:SI 500 
  • 放置房间号:洁净室Room1

光刻键合机（MA6）

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:MA6BA6 
  • 放置房间号:洁净室Room3

深硅刻蚀系统

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:刻蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:AMS200 
  • 放置房间号:洁净室Room4

原子力显微镜

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Cypher  S
  • 放置房间号:洁净室Room6

探针式轮廓仪（台阶仪）

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DEKTAK-XT
  • 放置房间号:洁净室Room6

X射线衍射仪

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:XRD-7000 
  • 放置房间号:翔安校区文宣楼C107电镜室

等离子增强化学气相沉积系统（PECVD）

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:CVD设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SI 500D 
  • 放置房间号:洁净室Room1

等离子增强原子层沉积系统（ALD）

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:CVD设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TFS-200-PEALD 
  • 放置房间号:洁净室Room1

电子束镀膜机

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TEMD-500
  • 放置房间号:洁净室Room4

化学机械抛光机

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:磨抛&划片设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:POLI 400M 
  • 放置房间号:洁净室外面101室

有机清洗台2

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  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:无
  • 放置房间号:----

化学气相沉积系统（石墨烯CVD）

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:CVD设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:ET 2000 
  • 放置房间号:本部洁净室Room5

有机清洗台3

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:无
  • 放置房间号:----