仪器分类
全部 CVD设备 清洗腐蚀设备 光刻&键合设备 镀膜设备 刻蚀设备 磨抛&划片设备 测试设备 其它
所属单位
全部 萨本栋微米纳米科学技术研究院
预约模式
全部 按时预约 项目委托

深硅刻蚀系统

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:刻蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:AMS200 
  • 放置房间号:洁净室Room4

ICP-RIE等离子刻蚀机

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  • 仪器分类:刻蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SI 500 
  • 放置房间号:洁净室Room1

激光划片机

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:磨抛&划片设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:LCF150QC
  • 放置房间号:洁净室Room5

化学机械抛光机

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  • 仪器分类:磨抛&划片设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:POLI 400M 
  • 放置房间号:洁净室外面101室

横向减薄机 (张玉龙)

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:磨抛&划片设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:FD-150
  • 放置房间号:洁净室Room5

自动砂轮划片机

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:磨抛&划片设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:HW1601 
  • 放置房间号:洁净室外面101室

原子力显微镜

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Cypher  S
  • 放置房间号:洁净室Room6

场发射扫描电子显微镜 (龚炜华)

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:SUPRA55 SAPPHIRE
  • 放置房间号:翔安校区文宣楼C107电镜室

半导体参数分析仪

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:4200-sls 
  • 放置房间号:洁净室Room6

高低温真空探针台(平台) (张玉龙)

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SCG
  • 放置房间号:洁净室Room6

矢量网络分析仪

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:ZNB8 
  • 放置房间号:洁净室Room6

显微共焦拉曼光谱仪

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:lDSPeC ARCTlC 
  • 放置房间号:翔安校区文宣楼C107(电镜室内间)

傅立叶红外光谱仪 (崔景芹)

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:MICOET iS10 
  • 放置房间号:翔安校区文宣楼C107(电镜室)

X射线衍射仪

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:XRD-7000 
  • 放置房间号:翔安校区文宣楼C107电镜室

导热系数仪

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TH91-13 
  • 放置房间号:洁净室Room6